Subpixel-Interferometrie mit räumlicher Auflösung

Innovatoren bei NASA Marshall haben in Zusammenarbeit mit dem Center for Applied Optics an der University of Alabama in Huntsville ein System entwickelt, das die räumliche Auflösung von interferometrischen Messungen optischer Oberflächen über die grundlegende Nyquist-Grenze des Abbildungssystems/Detektors des Interferometers hinaus erhöht. Das Sub-Pixel Spatial Resolution Interferometry (SSRI)-System ermöglicht es optischen Herstellern, Oberflächenmerkmale von Raumfrequenzen genau zu qualifizieren, die mit Standard-Interferometern nicht genau aufgelöst werden konnten.

Aktuelle Trends im optischen Design erzeugen neue Arten von Spezifikationen, die unterschiedliche räumliche Frequenzbänder erfordern und Optiken mit größerer Apertur erfordern; die Fähigkeit, diese Merkmale über die volle Apertur zu charakterisieren, erfordert jedoch Verbesserungen. Das SSRI-System erfüllt diesen Bedarf, indem es die räumliche Auflösung von interferometrischen Messungen mit voller Apertur erhöht, indem es eine Technik verwendet, die Interlaced-Stitching von Messungen mit niedriger Auflösung beinhaltet, die bei seitlichen Verschiebungen von Subpixeln aufgenommen wurden, um die räumliche Auflösung zu verbessern.

Das SSRI-System erhöht die räumliche Auflösung der interferometrischen Messungen, indem mehrere Messungen einer optischen Oberfläche mit Subpixelverschiebungen zwischen einem CCD-Detektor (Charged Coupled Device) und der zu testenden Optik zwischen den Messungen durchgeführt werden. Die Messungen werden dann kombiniert, um eine einzelne Messung mit höherer räumlicher Auflösung zu erstellen.

Die Messungen werden unter Verwendung eines Stitching-Algorithmus kombiniert. Dieses Verfahren entlastet die Beschränkung der räumlichen Auflösung, die durch die Pixelgröße und den Abstand definiert ist. Es wird angenommen, dass das optische System so ausgelegt wurde, dass es die Merkmale mit höheren räumlichen Frequenzen passieren lässt. Diese neue Technik wird es ermöglichen, Präzisionsoptiken genau anhand der Spezifikationen zu qualifizieren, und es den Herstellern ermöglichen, die höheren Ortsfrequenzfehler deterministisch zu korrigieren. Das SSRI-System kann mit geringfügigen Modifikationen in bestehende kommerziell erhältliche Interferometer und interferometrische Profiler integriert werden, um die erreichbare räumliche Auflösung zu erhöhen.

Die NASA sucht aktiv nach Lizenznehmern zur Kommerzialisierung dieser Technologie. Bitte wenden Sie sich an den Licensing Concierge der NASA unter Diese E-Mail-Adresse ist vor Spambots geschützt! JavaScript muss aktiviert werden, damit sie angezeigt werden kann. oder rufen Sie uns unter 202-358-7432 an, um Lizenzierungsgespräche zu initiieren. Folgen Sie diesem Link hier für mehr Informationen.