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Chemisches Ätzen (CHM): Prinzip, Verfahren, Maskierung & Industrielle Nutzung

Das chemische Ätzen (Chemical Machining, CHM) – oft einfach „Ätzen“ genannt – nutzt aggressive Chemikalien (Säuren/Laugen) zum kontrollierten Materialabtrag. Was wie Magie wirkt (Eintauchen → fertiges Teil), basiert auf elektrochemischen Grundlagen. Dieser Artikel deckt Anlagenbau, Prozessschritte, Maskiertechniken, Ätzmittel, Vor-/Nachteile und Anwendungen ab.

Geschichte

Definition

Chemisches Ätzen entfernt Material durch Eintauchen des Werkstücks in ein aggressives Reagenz (Säure/Lauge). Ein inaktives Maskant schützt Bereiche, die nicht bearbeitet werden sollen.

Anlagenkomponenten

Prozessablauf – 4 Hauptschritte

1. Reinigen (Cleaning)

Hochdruckwasser, Alkohol, verd. HCl. Trocknung Heißluft.
Zweck: Oxide, Fette, Fremdpartikel entfernen → sichere Maskanthaftung, gleichmäßiger Abtrag, keine Unterschneidung, keine Blasenbildung.

2. Maskieren (Masking)

Auftragen eines polymeren/kaumstofflichen Films (Maskant) auf alle Nicht-Ätzflächen. Nur Ätzgebiet bleibt frei.

3. Ätzen (Etching)

Werkstück in Bad (Heizung + Rührwerk AN). Reagenz greift freies Metall an → Schichtweises Auflösen.
Ätztiefe ∝ Zeit: E = S / T (E = Ätzrate, S = Tiefe, T = Zeit). Ätzrate vorab experimentell ermittelt (konzentrations- & werkstoffabhängig).

4. Entmasken (Demasking)

Maskant abziehen → Nachreinigung (Kaltwasser, Trocknen) → Fertigteil.

Ätzverfahrenstypen

  1. Chemisches Fräsen (CHM): Taschen, Konturen, Großabtrag
  2. Chemisches Gravieren (CHE): Feinste Beschriftungen (Typen, Logos, Seriennummern)
  3. Chemisches Polieren (CHP): Entgraten, Feinglätten mit verdünntem Reagenz
  4. Photochemisches Ätzen (PCM): Hochpräzise Mikrostrukturen via Photoresist (s. separaten Artikel)

Anwendungen

Vorteile

Nachteile

Maskant – Auswahl & Technik

Anforderungen: Inert gegen Reagenz, mechanisch zäh, thermisch stabil, schneidbar, gute Haftung, verfügbar/günstig.

WerkstoffGeeigneter Maskant
Al-LegierungenButylkautschuk, Polymer, Neopren
Cu-LegierungenPolymer
Fe-BasisButylkautschuk, Polymer
NiNeopren
MgPolymer
TiPolymer

Drei Haupt-Maskiertechniken

1. Schnitt & Abziehen (Cut & Peel)

Werkstück in flüssigen Maskant tauchen → trocknen → Design per Ritzstift in Maskant schneiden → Maskant im Ätzgebiet abziehen. Dickschichtige Maskante (Neopren, Butyl, Vinyl, Bienenwachs, Burgundpech; 0,03–0,13 mm). Sehr chemisch beständig, für tiefes Fräsen (CHM). Nachteil: Geringere Toleranzgenauigkeit. Historisch wichtig für Raketen-/Flugzeugbau.

2. Siebdruck (Screen Print)

Seidengaze/Edelstahlsieb mit Design → auf Werkstück pressen → Maskant walzen → trocknen/backen → Sieb abheben → Maskant bleibt nur in Nicht-Ätzflächen. Dünnschichtig (< 0,05 mm). Schnell, präzise, wirtschaftlich für Großserie. Für flache/mäßig konturierte Teile bis 1,2×1,2 m.

3. Photoresist (Photo-resist)

Wie PCM: Fotomaske + UV-Belichtung + Entwicklung. Schaltet Prozess auf PCM um. Schichtdicke 1,27–1,5 µm. Standard für Leiterplatten, Halbleiter, Mikrogetriebe, Elektronikgehäuse.

Ätzmittel (Etchants) – Beispiele

WerkstoffÄtzmittelTemp. (°C)Ätzrate (mm/min × 10⁻³)
Al-LegierungenNaOH4920–30
Al-LegierungenFeCl₃4913–25
Messing/BronzeNH₄HF₂2710–15
Messing/BronzeFeCl₃4925
PbFeCl₃54–
Mg-LegierungenHNO₃32–4925–50
NiFeCl₃4913–38
TiHNO₃/HFRT13–25

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