ISMI bietet Software für die Leistungsüberwachung der Gerätezuverlässigkeit

Die International SEMATECH Manufacturing Initiative (ISMI) hat ihren Zuverlässigkeits-, Verfügbarkeits- und Wartbarkeitsrechner (RAMCalc) veröffentlicht, eine webbasierte Anwendung, die RAM-Metriken auf Geräte-, Modul- und Waferebene für SEMI E10-konforme Berichte erfasst und berechnet. RAMCalc von ISMI ermöglicht es Maschinen-, Industrie- und Wartungsingenieuren, RAM-Metriken zu berechnen, wie z

Der grundlegende Einpfad-RAMCalc, der der Öffentlichkeit kostenlos zur Verfügung steht, berechnet die Leistung von Einkammer- oder Nicht-Cluster-Produktionsanlagen. Zusätzlich zum Einweg-Rechner ermöglicht eine Mehrweg-Version von RAMCalc die Verfolgung komplexer Mehrweg-Cluster-Werkzeugausrüstungen.

„Die Entwicklung einer robusten Datenerfassungslösung für Gerätedemonstrationstests ist von entscheidender Bedeutung“, sagte Lorn Christal, ISMI-Projektmanager. „Die Rolle von ISMI bei einem Gerätedemonstrationstest besteht darin, genaue Leistungskennzahlen zu liefern, die aus standardisierten Datenerfassungsmechanismen formuliert wurden.“

Algorithmen, die in RAMCalc verwendet werden, können unabhängig in Fab-Tools geladen werden, um automatisch RAM-Metriken zu generieren, die mit SEMI E10 übereinstimmen. Laut Jo Beekman, Co-Projektmanager, „ist RAMCalc flexibel. Es generiert derzeit Metriken, die mit SEMI E10 konsistent sind, aber mit einem anderen Satz von Zuständen kann es an andere Metriken angepasst werden, z /P>

SEMI E10 ist ein bekannter Industriestandard für die Zuverlässigkeit von Geräten der Halbleiterfertigung. SEMI E10 schafft eine gemeinsame Basis für die Kommunikation zwischen Benutzern und Lieferanten von Halbleitergeräten, indem Standards zum Messen der RAM-Leistung dieser Geräte in einer Fertigungsumgebung bereitgestellt werden. Eine Abstimmung zur Überarbeitung des SEMI E10-Standards wird noch in diesem Jahr erwartet. Der Stimmzettel wird versuchen, die Berechnung von RAM-Metriken für Mehrwege-Cluster-Werkzeugausrüstung zu formalisieren. RAMCalc von ISMI ist so konzipiert, dass es der aufkommenden Abstimmung entspricht.

Der Quellcode von RAMCalc ist über die kollaborative Anwendungsentwicklungsumgebung (CADe) von ISMI verfügbar. CADe ist ein „Community Source“-Code-Sharing-Programm, das ISMI-Mitgliedern kostenlos zur Verfügung steht und Nicht-Mitgliedsunternehmen auf Gegenleistungsbasis.

ISMI wird auf dem ISMI-Symposium am 1. November 2010 eine Einführung in die Verwendung von RAMCalc zum Verfolgen oder Benchmarken der Geräteleistung in Situationen mit Marathontests und Produktionsumgebungen mit hohem Volumen geben. Der Kurs wird neue Konzepte hervorheben:beabsichtigte Prozesssätze, Single-Path-Cluster Tools und Multipath-Cluster-Tools und demonstrieren, wie RAMCalc in jeder dieser Situationen verwendet werden kann.

Die grundlegende RAMCalc-Anwendung ist auf der öffentlichen Website von ISMI unter http://ismi.sematech.org/industry/ramcalc/index.htm verfügbar. Für weitere Informationen kontaktieren Sie Johannes Beekman, [email protected], oder Lorn Christal, [email protected].

Über ISMI
ISMI ist eine globale Allianz der größten Halbleiterhersteller der Welt, die sich der Reduzierung der Kosten pro Wafer und letztendlich der Kosten pro Chip durch kooperative Programme mit Fokus auf Fertigungseffektivität verschrieben hat. ISMI ist eine hundertprozentige Tochtergesellschaft von SEMATECH, www.sematech.org.