ISMI startet RAMCalc: Web-basiertes Tool für SEMI E10-Standard Gerätezuverlässigkeitskennzahlen

ISMI startet RAMCalc: Web-basiertes Tool für SEMI E10-Standard Gerätezuverlässigkeitskennzahlen

Die International SEMATECH Manufacturing Initiative (ISMI) stellte heute RAMCalc vor, einen cloud-basierten Rechner, der wichtige Zuverlässigkeits-, Verfügbarkeits- und Instandhaltbarkeitskennzahlen (RAM) für Halbleiterfertigungsanlagen auf Geräte-, Modul- und Wafer-Ebene erfasst, aggregiert und berichtet. Das Tool entspricht dem SEMI E10 Standard, dem Branchenbenchmark für die Messung der Geräteleistung.

Entwickelt für sowohl Single-Path- als auch komplexe Multi-Path-Cluster-Tools, berechnet RAMCalc automatisch:

• Mean Time Between Failures (MTBF)
• Mean Time To Repair (MTTR)
• Mean Time Off Line (MTOL)
• Verfügbarkeit

Die grundlegende Single-Path-Version ist öffentlich kostenlos verfügbar und ideal für eigenständige oder nicht-geclusterte Fertigungsanlagen. Eine Multi-Path-Variante, konzipiert für Hochdurchsatz-Cluster-Umgebungen, erweitert diese Fähigkeiten auf Multi-Path-Tools.

„Eine robuste Datenerfassungslösung ist essenziell für genaue Geräte-Demonstrationstests“, sagte Lorn Christal, ISMI-Projektmanager. „RAMCalc liefert präzise, standardisierte Leistungskennzahlen, abgeleitet aus konsistenten Datenerfassungsmechanismen.“

Algorithmen können direkt auf Fertigungswerkzeuge geladen werden, wodurch die generierten Kennzahlen vollständig SEMI E10-konform sind. Co-Projektmanager Jo Beekman bemerkte: „RAMCalc ist hochanpassungsfähig. Während es derzeit SEMI E10-Metriken erzeugt, kann derselbe Rahmen auf andere Produktivitätszustände oder zukünftige, noch undefinierte Metriken zugeschnitten werden.“

Mit einer Abstimmung zur Überarbeitung des SEMI E10 Standards, die noch in diesem Jahr erwartet wird – gezielt auf Formalisierung der Berechnungen für Multi-Path-Cluster-Tools – wurde RAMCalc so konzipiert, dass es künftige Updates antizipiert und konform bleibt.

Der Quellcode für RAMCalc ist frei über ISMIs Collaborative Application Development Environment (CADe) verfügbar, ein Community-Source-Programm, das ISMI-Mitglieder und Nicht-Mitglieder auf Quid-pro-quo-Basis willkommen heißt.

ISMI wird eine umfassende Schulungssitzung beim ISMI Symposium am 1. November 2010 abhalten, die folgende Themen abdeckt:

• Vorgesehene Prozess-Sets
• Single-Path-Cluster-Tools
• Multi-Path-Cluster-Tools
• Praktische Nutzung von RAMCalc in Marathon-Tests und Hochvolumenproduktion

Die grundlegende RAMCalc-Anwendung ist direkt über ISMIs öffentliche Website zugänglich: https://ismi.sematech.org/industry/ramcalc/index.htm.

Für weitere Informationen oder Anfragen kontaktieren Sie bitte:

Jo Beekman – jo.beekman@ismi.sematech.org
Lorn Christal – lorn.christal@ismi.sematech.org

Über ISMI
ISMI ist eine globale Allianz der weltweit führenden Halbleiterhersteller, die sich der Senkung der Kosten pro Wafer und letztlich der Kosten pro Die durch kollaborative Fertigungseffektivitätsprogramme widmet. ISMI ist eine hundertprozentige Tochtergesellschaft von SEMATECH (www.sematech.org).